白話財經

生產良率差一截 中國研發DUV量產仍是警鐘

中企DUV光刻機投產，衝擊荷蘭光刻機巨頭ASML。圖為ASML的EUV光刻機。路透
中企DUV光刻機投產，衝擊荷蘭光刻機巨頭ASML。圖為ASML的EUV光刻機。路透
聯合報 ／ 記者簡永祥

中國大陸宣布首款國產沉浸式深紫外光（DUV）曝光機正式進入量產，並預計今年開始交付中芯國際、華虹半導體及長鑫存儲等三大晶圓廠。雖然截至目前為止，全球生產這項設備龍頭艾司摩爾（ASML）未對此做出回應，外界普遍認為，這款設備短期內仍難與ASML抗衡，其象徵意義遠大於商業價值。但這也凸顯大陸發展半導體產業，正一步步實現「什麼都要自己做」的目標，不僅動搖ASML獨霸地位疑慮加深，也升高全球主要半導體設備大廠對大陸市場的警惕。

晶圓 中芯 ASML DUV 財經
簡永祥 記者

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