Ellipsometri er en optisk metode til måling av meget tynne sjikt på materialoverflater. Polarisert lys sendes mot en overflate, og polarisasjonen til det reflekterte lyset er avhengig av egenskaper på materialets overflate. Målemetoden kan vise belegg ned til ett atomlag.
Ellipsometri brukes blant annet til å måle belegg på halvledere. Viktige bidrag til utviklingen av teknikken ble gitt av NTH-professorene Leif Tronstad (1903–1945) og Arthur Baker Winterbottom (1904–1978), samt professor Ola Hunderi (1939-2016) ved samme sted (fra 1996 NTNU).