TY  - GEN
A1  - Thoms, S.
A1  - Gnan, M.
A1  - Macintyre, D.
A1  - Samarelli, A.
A1  - Sorel, M.
A1  - Strain, M.
A1  - De La Rue, R.
ID  - enlighten58607
UR  - https://eprints.gla.ac.uk/58607/
Y1  - 2008///
TI  - Optical characterisation of an HSQ lithography process
AV  - none
ER  -