三坐标测量如何实现占地面积小？测量精度高？仪器长时间精度稳定？

标题三坐标测量如何实现占地面积小

高精度三坐标测量机，结构形式基本上都是固定桥形式，固定桥精度高，但是占地面积都比较大。Mizar Gold相对于固定桥，占地面积小，总重量轻，运输安装方便。

标题三坐标测量如何实现高精度

相信大家在用三坐标测量探测误差（MPEP）的时候，都会发现一个现象，垂直度补偿值越多（垂直结构没调到位，通过软件补偿垂直度），探测误差越差？
三坐标测量的误差补偿，主要就是通过软件对结构的21项系统误差进行补偿。由于三坐标机器是X/Y/Z三个平移运动轴，像直线度这种误差比较容易通过主机移动来补偿，角度误差，会通过算法转化成平动进行补偿。但是，结构上角度是始终存在的，没办法消除，就会因为角度带来残余误差。

三坐标采用陶瓷横梁和Z轴，确保了横梁和Z轴的平面精度在2μm以内，给整机的角度误差控制在2角秒以内。同时，陶瓷的刚性远远优于花岗岩和铝合金，这样横梁在受到滑架压力的时候，也基本没有变形量。因此，通过减小系统的结构误差，减小补偿量，从而提高系统的精度。

标题三坐标测量如何实现稳定性的提升

采用花岗岩或者铝合金，长时间的稳定性很难保证，采用陶瓷，能使导轨保持长时间的稳定。
如下图所示，同一台机器，不同的横梁材料，长时间检测横梁XRY的角摆，陶瓷横梁的角摆稳定在0.5角秒以内波动，而铝合金，XRY角摆的波动量在2角秒。

其次，通过将减速器的传动，设计为多楔带，能够减少减速器传动过程中的振动和刮边，从而减少机器测量过程中的齿形啮合带来的不确定性，提高稳定性。
除此之外，三轴采用非金属材料，热膨胀系数低且基本相同，实现三轴热匹配。
而且，三坐标测量机配备温度传感器，能对温度变化进行补偿。从而提高设备的精度和稳定性。

标题三坐标测量如何实现效率的提升

机器想要提高效率，主要是提高设备的速度和加速度：
首先，提高设备的刚性。横梁和Z轴设计为陶瓷（99瓷），陶瓷弹性模量300-400GPa，花岗岩和铝合金均为70GPa左右，能大幅提高横梁和Z轴的刚性。
其次，减轻设备运行的重量。陶瓷、铝合金、花岗岩密度基本一致。而且整机结构经过有限元分析，确保质量轻，刚性好。
再次，提高传动的刚性。采用高刚性的钢丝带传动，减速器采用高刚性的多楔带，增加传动的刚性。