| 送交者: 民主天下[☆品衔R4☆] 于 2021-05-13 12:30 已读 1131 次 2 赞 | 民主天下的个人频道 |
南大光電：目前ArF光刻膠項目已完成的產線設計產能為25噸 6park.com來源：同花順金融研究中心 2021-05-13 6park.com 6park.com南大光電接受機構調研時表示，公司ArF光刻膠產品開發和產業化項目，目前已完成25噸光刻膠生產線建設，主要先進光刻設備，如ASML浸沒式光刻機等已經完成安裝並投入使用。
6park.com南大光電接受機構調研時表示，公司ArF光刻膠產品開發和產業化項目，目前已完成25噸光刻膠生產線建設，主要先進光刻設備，如ASML浸沒式光刻機等已經完成安裝並投入使用。 2020年底，公司自主研發的ArF光刻膠產品成功通過下游客戶的使用認證，成為通過產品驗證的第一隻國產ArF光刻膠，產業化取得關鍵突破，拿到國產光刻膠的首個訂單，實現小批量銷售。
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