ASML怕了吗？Canon的新芯片制造机 价格比EUV少一位数

日本Canon计划将最新推出的「纳米压印」机的价格，订在比艾司摩尔最先进的EUV曝光机少一位数。 （路透）
佳能（Canon）公司计划将最新推出的芯片制造设备的价格，订在比艾司摩尔（ASML）最先进的极紫外光（EUV）曝光机少一位数，以抢攻尖端芯片设备市场。

彭博资讯报导，佳能的「纳米压印」微影设备，能让较小型的芯片制造业者也能够生产先进芯片。佳能首席执行官御手洗富士夫表示，「价格将比艾司摩尔的EUV机具少一位数」，最终订价尚未决定。

由于日本对芯片制造设备的出口限制中并未点名纳米压印机具，因此佳能10月推出的这项新产品有可能外销中国大陆。不过御手洗表示，佳能可能无法对中国出口机具。他说，「我的了解是，禁止对中国出口任何能制造小于14纳米芯片的科技，因此我不认为我们将能够出售」。日本官员表示不能对此发表看法。

佳能的机具是将电路型态直接压印在晶圆上，效果与最先进的科技无二，不过制造芯片的速度较慢，可以让台积电及三星等厂商生产较小量的芯片；佳能新机具的耗电量是EUV的十分之一。

御手洗并指出，「我并不预期纳米压印科技能取代EUV，但我相信这能创造新的商机及需求。我们已经接到许多客户的询问」。